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一、产品概述
1、适用范围:适合于各单位实验室、高等院校实验室、教学等的项目科研、产品中试之用。
2、产品优点及特点:设备采用热丝化学气相沉积技术,已应用于国内多家用热丝法生产金刚石的生产线上。该设备已生产出大尺寸片状多晶金刚石厚膜,并获得了非常可观的经济效益。该系列设备适合于工业化生产也非常适合于科研、教学和产品中试之用。
3、主要用途:用于生长毫米级金刚石厚膜、金刚石薄膜、类金刚石膜、氮化硅和氧化硅膜等。在切削刀具、钻头、丝锥等表面沉积纳米金刚石薄膜、微晶金刚石薄膜。也可制备掺硼金刚石电极、BBD电极、金刚石电极薄膜等。
二、技术参数
型号 | HF600 |
真空腔室结构 | 立式前开门结构,后置抽气系统,双层水冷 |
真空腔室尺寸 | Φ600×H500mm |
基片台尺寸 | Φ200mm |
衬底温度 | 600~1100℃ |
电源 | DC |
控制方式 | PC+PLC+触摸屏控制 |
占地面积 | 主机L1620×W1060×H1900mm |
总功率 | ≥43KW |