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钙钛矿太阳能电池中试线

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钙钛矿ZHDS500-1.png


一、产品特点 / 用途 :

1. 大面积,复合型,批量制备,洁净真空不同功能复合涂层制备,可获得更高电池转换效率;

2. 广泛用于钙钛矿太阳能电池及复合功能薄膜材料制备等应用;

3. 技术先进、设计优化,性价比高,性能稳定,使用维护成本低。

二、技术参数

设备型号

ZHDS500

镀膜方式

金属 + 有机蒸发

真空腔室结构

SUS304 方箱式,配有前、后门

真空腔室尺寸

L500mmxW500mmxH650mm

加热温度

室温-300℃(选配)

基片台尺寸

抽屉式:220mmx220mm

可旋转、升降、水冷

膜厚不均匀性

≤±5.0%(210mmx210mm范围内)

蒸发源

金属 2 组 + 有机 4 组或更多,有机配

温控式加热电源,金属电源 (国产或进口)

晶振膜厚监控仪

国产或进口 多探头可选

控制方式

PLC/PC 控制 ( 可选 )

占地面积

L2500mmxW1600mmxH1900mm

( 不含手套箱 )

总功率

≥ 10kW 三相五线制