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钙钛矿太阳能电池中试线

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一、产品特点 / 用途 :

1. 大面积,复合型,批量制备,洁净真空不同功能复合涂层制备,可获得更高电池转换效率;

2. 广泛用于钙钛矿太阳能电池及复合功能薄膜材料制备等应用;

3. 技术先进、设计优化,性价比高,性能稳定,使用维护成本低。

二、产品参数 :

设备型号

JCPF1600

镀膜方式

磁控溅射

真空腔室结构

SUS304 方箱式

真空腔室尺寸

L1600×W260×H700mm

极限真空

优于 5.0x10-5Pa

基片台尺寸

210mmx210mm

基片温度

常温

膜厚不均匀性

≤ ±5.0%

溅射源

矩形靶 2-3 套 DC/RF 电源及偏压电源

膜厚监控系统

国产 / 进口(可选)

控制方式

PLC/PC 控制 ( 可选 )

占地面积

L2500mmxW1600mmxH1900mm

( 不含手套箱 )

供电总功率

≥ 20kW 三相五线制