2013年快速循环气冷真空炉新型专利证书
2014年连续真空蒸镀自动送料新型专利证书
2014年用于真空杯内壁镀膜二极溅射镀膜设备新型专利证书
2017年磁力传动大面积蒸发镀膜机新型专利证书
2017年多弧离子真空镀膜机新型专利证书
2018年电阻蒸发器新型专利证书
2019年离子镀膜用引弧装置及离子镀膜装置专利证书
2019年线性蒸发舟新型专利证书
2021年可实现连续生长石墨烯装置新型专利证书
2021年石墨烯薄膜连续生长系统新型专利证书
2022年机械手及石墨烯薄膜连续规模化沉积设备新型专利证书
2022年镀金刚石膜装置新型专利证书
