在磁控溅射系统中，溅射电源是核心组件之一，它为溅射过程提供必要的能量，直接影响着溅射速率、薄膜质量以及工艺的稳定性。正确选择溅射电源对于实现高效、高质量的磁控溅射工艺至关重要。本文将深入探讨磁控溅射的溅射电源选择过程中需要考虑的关键因素，帮助相关从业者做出科学合理的决策。溅射电源类型及特点：直流（DC）溅射电源直流溅射电源结构相对简单，成本较低，是磁控溅射早期常用的电源类型。它能够提供稳定的...

电子束蒸发（Electron Beam Evaporation）是物理气相沉积的一种形式，其中待蒸发材料被来自带电钨丝的电子束轰击，当电子束撞击目标材料时，它的能量转化为热能，使目标材料达到蒸发的状态，并将其转化为气态，在高真空室中，这些蒸发的原子或分子随后沉积在基板上形成薄膜。电子束蒸发真空镀膜设备常见蒸镀蒸镀AR / AF涂层，硬质膜、装饰膜、ITO膜 、带通滤光片、HR膜等，具有效率高...

本文详细探讨了磁控溅射过程中靶中毒这一关键问题。深入分析了靶中毒的现象、机理及对溅射过程和薄膜质量的严重影响。通过对反应气体、溅射功率、靶材与基底材料等多种因素的综合研究，揭示了靶中毒的成因。靶面金属化合物的形成由金属靶面通过反应溅射工艺形成化合物的过程中，化合物是在哪里形成的呢？由于活性反应气体粒子与靶面原子相碰撞产生化学反应生成化合物原子，通常是放热反应，反应生成热必须有传导出去的途径，...

蒸镀技术作为一种重要的薄膜制备方法，在电子、光学、太阳能等众多领域得到了广泛应用。选择合适的蒸镀材料和蒸发装置是制备高质量薄膜的关键，直接影响到薄膜的性能、生产成本以及生产效率。本文深入探讨常见蒸镀材料及蒸发装置选择。介绍了金属、化合物、有机材料等各类蒸镀材料特性，分析电阻、电子束蒸发装置特点，阐述如何依据蒸镀材料特性、薄膜性能要求、生产规模与成本及真空度要求来选择蒸发装置，对薄膜制备领域具...

前言：杂化钙钛矿晶体主要是将无机盐和有机盐充分混合及反应后，然后将得到的前驱体溶液在介孔材料中的孔隙内组装而形成的。一般来说，制备杂化钙钛矿晶体薄膜的方法有：①一步溶液旋涂法；②双源气相沉积法；③两步溶液浸渍法。①一步溶液旋涂法是将等摩尔比的CH3NH3I和PbI2的γ-丁内酯或DMF溶液，然后将其旋涂在介孔TiO2薄膜上，通过自组装形成杂化钙钛矿，再经过退火后，即能获得完整的晶形。一步溶液...

随着能源、环境问题日渐突出，太阳能发电作为新能源产业的中坚力量获得了大量的关注。其中，太阳能电池的发展对于整个光伏行业来说至关重要。目前晶硅太阳电池技术成熟，是市场上的主流，但是存在成本过高、效率面临瓶颈等问题；而薄膜太阳电池整体效率并不理想，难以实现大规模量产。在此情况下，研发原料资源丰富、无毒且环境友好、基于薄膜技术且有高转化效率的新型太阳能电池成了当务之急。 其中新型钙钛矿太阳能电池是...

科学发展日新月异的今天，大量具有各种不同功能的薄膜得到了广泛的应用，薄膜作为一种重要的材料在材料领域占据着越来越重要的地位。利用粒子所具有的光、电、磁方面的特性,通过复合使新材料具有基体所不具备的特殊功能的薄膜，我们称之为“功能薄膜”。而其作为一种高新技术产品，并不是高不可攀的，它应用前景广阔，在水资源、能源、环境、传统产业改造等领域发挥重大作用。功能薄膜产业的快速发展，离不开科研人员在薄膜...