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一、产品概述

1、主要用途及应用范围:主要用于镀制增透膜、带通膜和截止膜等各种膜系,能够实现100层膜的超大型膜系镀膜,也能满足在树脂镜片上镀制各种颜色的增透膜以及在太阳镜片上镀制红、黄、蓝、绿等颜色的反光膜,适用于大批量镀各种高质量的光学膜和铝膜, 还适用于装饰品的镀膜,如七彩等颜色。

2、产品优点及特点:

►配置电子束及电阻蒸发系统;

►电子枪在整个蒸发过程中膜料表面平整,蒸发分布均匀;

►配置石英晶体膜厚控制仪可实现成膜速度和镀膜过程的自动控制;

►配置大功率离子源,保证膜层质量;

►总体结构设计合理,操作方便。

 

二、技术参数

型号 ZZS1300
真空腔室尺寸 Φ1300×H1500mm
真空系统 国产或进口扩散泵+罗茨泵+机械泵高真空系统
极限真空 优于2.0×10-4Pa
抽速 空载从大气到3.3×10-3Pa≤30min,升压率关机12小时后真空度≤10Pa
工件夹具 Φ1200mm
工件烘烤温度 室温~350℃,可调可控(PID控温)
膜厚监控系统 光学膜厚监控/石英晶体膜厚监控(可选)
配置 电阻蒸发、电子枪、离子源
功率 55KW
系统 PLC控制/工控机全自动控制(可选)
占地面积 长×宽:3m×4m