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真空常用数据及单位换算

2016-08-05 10:36:58 点击数:

1. 真空区域划分

 

 

真空区域
压强范围
托(Torr)
帕(Pa)
低真空
760~10
101325~1333
中真空
10~10-3
1333~1.33×10-1
高真空
10-3~10-8
1.33×10-1~10-6
超高真空
10-8~10-12
10-6~10-10
极高真空
<10-12
<10-10


2. 流速与漏率

 

 
Pa·l/s
mbar·l/s
Torr·l/s
atm·cm3/s
sccm
1Pa·l/s
1
10
7.5
9.87
59.2
1 mbar·l/s
0.1
1
0.75
0.987
5.92
1 Torr·l/s
0.133
1.33
1
1.32
78.9
1 atm·cm3/s
0.101
1.01
0.76
1
60
1 sccm
1.69×10-3
1.69×10-2
1.27×10-2
1.67×10-2
1


3. 抽气速率单位换算表

 

 

单位
立方米/秒
(m3/s)
升/秒(L/s)
立方米/小时
立方英尺/分
1立方米/秒(1m3/s)
1
1000
3600
2118.88
1升/秒(1L/s)
10-3
1
3.6
2.119
1立方米/小时(1m3/h)
2.78×10-4
0.278
1
0.59
1立方英尺/分(1cft/min)
4.72×10-4
0.47
1.69
1


4. 常用压强单位换算表

 

 

Pa

Torr
微米汞柱
μmHg
微巴
μbar
毫巴
mbar
大气压
atm
工程大气压
am
英寸汞柱
inHg
磅/英寸2
lb/in2
1 Pa
1
7.5
×10-3
7.5
10
10-2
9.86923
×10-6
1.0197
×105
2.953
×10-4
1.450
×10-4
1 Torr
133.32
1
103
1333.2
1.3332
1.31579
×10-3
1.3595
×10-3
3.937
×10-2
1.934
×10-2
1 μmHg
0.13332
10-3
1
1.3332
1.3332
×10-3
1.31579
×10-6
1.3595
×10-6
3.937
×10-5
1.934
×10-5
1 μbar
10-1
7.5
×10-4
7.5
×10-1
1
10-3
9.86923
×10-7
1.0197
×10-6
2.953
×10-5
1.450
×10-5
1 mbar
102
7.5
×10-1
7.5
×102
103
1
9.86923
×10-4
1.0197
×10-3
2.953
×10-2
1.450
×10-2
1 atm
101325
760
760×103
1013.25
×103
1013.25
1
1.0333
29.921
14.696
1 am
98066.3
735.56
735.56
×103
980663
980663
×10-3
0.967839
1
28.959
14.223
1 inHg
3386
25.4
25.4×103
3.386×104
33.86
3.342
×10-2
3.453
×10-2
1
4.912
×10-1
1 lb/in2
6895
51.715
51.715
×103
6.895×104
68.95
6.805
×10-2
7.031
×10-2
2.086
1


5. 20℃空气在不同压强下的分子平均自由程

 

P(托)
1
10-3
10-4
10-5
10-6
10-9
λ(厘米)
4.72×10-3
4.72
47.2
472
4720
4.72×106


6. 不同压强下空气分子密度

 

P(托)
1
10-3
10-4
10-5
10-6
10-9
n0(个/厘米3)
4×1016
4×1013
4×1012
4×1011
4×1010
4×107


7. 各种橡胶特性表

 

 

橡胶种类
天然橡胶
丁基橡胶
丁腈橡胶
氟橡胶
特性1
耐水性,耐酸性,耐碱性良好
渗透率小
耐油良好
23型耐强酸
特性2
出气量较大
升华严重
弹性较好
26型渗透率低出气率小
真空范围
1×105
107
108
10-8
温度
-30~80℃
-30~150℃
-30~120℃
-20~200℃


8. 真空泵的种类及其工作范围

 

 

真空泵
工作范围(托)
真空泵
工作范围(托)
旋片真空泵
760~5×10-4
往复真空泵
760~10-2
滑阀真空泵
760~5×10-3
吸附泵
760~10-4
油增压泵
10-1~10-4
溅射离子泵
10-4~10-10
罗茨真空泵
10-1~10-4
钛升华泵
10-3~10-10
油扩散泵
10-3~5×10-7
分子泵
10-3~10-10
水环真空泵
760~25
低温泵
10-3~10-10

    为了更好的服务于客户,泰科诺科技进行业务延伸,对外承接真空产品的维修保养及服务业务。
一、对外工艺服务及技术支持
  1、
售前实验打样(装饰类、功能类、工具类等多种涂层);

  2、小批量产品生产服务;

  3、优质的技术支持;
二、设备现场服务
  1、设备改造、恢复等;
  2、设备搬迁;
三、耗材及零部件销售
  1、各类靶材及日常耗材及易损件的销售;
  2、设备零部件的再加工;
  2、膜厚仪、观察窗、磁控靶等真空部件的销售;

    泰科诺秉承“做真空设备专家,帮客户创造价值”的导向理念,积极抓住发展机遇,在稳健中进取,在进取中创新,在创新中超越,为用户提供专业、及时而周到的产品技术与维护服务,全方位塑造中国真空企业新形象,诚挚欢迎新老客户合作洽谈!