热丝HFCVD化学气相沉积设备应用-HF600

北京泰科诺科技23年真空行业经验，独立研发的热丝法制备金刚石膜方法填补了国内行业空白，产品获得多项国家专利和认证。广泛适用于各大高校、科研院所和生产企业实现教学、研发和中试之目的。目前已初步实现产业化生产。

一、制备金刚石厚膜

1、连续沉积40天，膜层厚度2.1mm。

2、可以把厚膜经过激光切割成金刚石刀粒，钎焊在刀架上，制成金刚石钎焊刀具，用于盾构机的高耐磨刀具，用于超精密切削，可用来加工高硅铝合金、碳纤维材料、各种有色金属、复合材料、陶瓷和塑料等难加工材料，替代PCD或单晶金刚石刀具。

①金刚石厚膜    ②金刚石钎焊刀具    ③金刚石膜显微镜照片，表面晶粒明显

二、制备金刚石涂层

1、通过HFCVD方法直接在刀具表面沉积金刚石涂层，可在任意形状的工具衬底上沉积，应用于加工高硬度材料。

2、金刚石膜的多晶特征所具有的准各向同性，在做拉丝模时，模孔均匀磨损，优于金刚石单晶拉丝模具的使用性能，目前技术已相对比较成熟。

①PCB刀具   ②拉丝模具   ③微米级热丝金刚石涂层显微镜

三、制备金刚石导电电极涂层

1、金刚石薄膜电极：利用掺杂硼元素，赋予了金刚石薄膜电极优异的电化学特性，如宽的电化学视窗、较低的背景电流、较好的物理化学稳定性及低吸附特性等，使用其优异的性能，适用于有毒、难降解的强酸、强碱等高浓度有机污染物废水的电化学处理。

     ①金刚石薄膜电极  

四、更多在开发中的应用项目

——通过HFCVD制备可以作为热沉片应用的金刚石厚膜；

——制作CVD金刚石细长管，可以应用于高硬度磨料喷射的喷嘴；

——在光滑衬底上直接沉积金刚石薄膜，用于平面耐磨器件对耐磨性和高精度的要求。