大专院校、科研院所及企业进行薄膜新材料的科研与小批量制备
1. 可提供工艺技术支持,及良好售后服务;
2. 设备结构紧凑,占地面积小,性价比高,性能稳定,使用维护成本低;
3. 单靶溅射 / 多靶依次溅射或共同溅射,兼容 DC/MF/RF 溅射等功能 。
4. 可制备单层及多层金属膜、介质膜、半导体膜、耐热合金膜、硬质膜、耐腐蚀摸、透明导电膜,如钙钛矿空穴传输层、金属电极以及透明导电层ITO膜层的制备等”;