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大面积平板镀膜设备JCPF3500

设备名称:大面积平板镀膜设备
设备型号:JCPF1600~4500
真空系统:国产或进口分子泵 / 低温泵 + 罗茨泵 + 机械泵高真空系统
极限真空:优于 2.0×10-4Pa
抽速:从大气到 3.3×10-3Pa ≤ 30min 升压率关机 12 小时后真空度≤ 10Pa
工件架尺寸:可根据尺寸定制
工件烘烤温度 :室温~ 300℃,可调可控(PID 控温)
配置:矩形磁控靶、弧源、离子源、偏压可选
系统:全自动控制系统,个性化的 Tech-Coating 控制菜单,安全保护系统
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产品详情视频展示

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适合在大面积玻璃、亚克力板、PC 表面沉积纳米级金属膜(金、银、铜、铝、铬等)、半导体膜(ITO、AZO 等),介质膜(氧 化钛、氧化铬、氧化钨)等,广泛应用在光伏、光电、触摸屏、半导体、平板电极及建筑装饰玻璃等行业。



产品特点蓝色.jpg


采用磁控溅射方式,沉积速率快,膜层均匀致密,光亮度好,在大面积上的镀膜不均匀性≤ ±5%,特别适合有功能性要求的膜层制备及控制;例:镀膜导电膜层,电阻值均匀可控,可以控制为稳定电阻,也可以控制为渐变电阻。加上自主开发全自动控制系统可实现一键化操作;保证产品镀膜性能连续稳定;设备采用模块化设计,可根据生产要求增加镀膜模块及其拓展模块,设备易拆卸,维护保养