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钙钛矿太阳能电池蒸发设备ZHDS400

设备型号:ZHDS400
镀膜方式:金属 + 有机蒸发
真空腔室结构:SUS304 方箱式,配有前、后门
真空腔室尺寸:L400mmxW440mmxH450mm
加热温度:室温-300℃(选配)
基片台尺寸:抽屉式:220mmx220mm可旋转、升降、水冷
膜厚不均匀性:≤±5.0%(120mmx120mm范围内)
蒸发源:金属 2 组 + 有机 4 组或更多,有机配温控式加热电源,金属电源 (国产或进口)
晶振膜厚监控仪:国产或进口 多探头可选
控制方式:PLC/PC 控制 ( 可选 )
占地面积:L2500mmxW1600mmxH1900mm( 不含手套箱 )
总功率:≥ 10kW 三相五线制
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特点用途.jpg


1. 技术先进、设计优化,性价比高,性能稳定,使用维护成本低;

2. 广泛应用于钙钛矿太阳能电池/OPV有机太阳能电池等各种膜层的制备;

如:钙钛矿层、钙钛矿电子传输层及背电极等膜层的制备