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大专院校、科研院所及企业进行薄膜新材料的科研与小批量制备。
1. 设备一体化设计，占地面积小，性价比高，性能稳定，使用维护成本低；
2. 可用于生产线前期工艺试验等；
3. 实验室制备导电薄膜、半导体膜、光学薄膜等，可同手套箱复合使用。
大专院校、科研院所及企业进行薄膜新材料的科研与小批量制备。
1. 设备一体化设计，占地面积小，性价比高，性能稳定，使用维护成本低；
2. 可用于生产线前期工艺试验等；
3. 实验室制备导电薄膜、半导体膜、光学薄膜等，可同手套箱复合使用。