大专院校、科研院所及企业进行薄膜新材料的科研与小批量制备
1. 设备一体化设计,占地面积小,性价比高,性能稳定,使用维护成本低;
2. 设备配备多组蒸发源,兼容有机蒸发与无机蒸发 , 多源共蒸获得复合膜。设计专业,功能强大,性能稳定;
3. 适用于实验室制备金属单质膜、半导体膜、有机膜,也可用于生产线前期工艺试验等。