用于生长毫米级金刚石厚膜、纳米晶金刚石涂层或微米晶金刚石涂层、类金刚石膜、氮化硅和氧化硅膜等,在切削刀具、模具、丝锥、BDD 水处理电极等表面沉积金刚石薄膜。
热丝化学气相沉积金刚石技术,已广泛应用于国内多家用生产金刚石刀具的生产线上。全自动化控制及设备工艺、技术稳定,适合高端纳米金刚石涂层应用,为航空制造业,精密模具及拉丝模具,BDD 电极等广泛应用 。该设备已生长大尺寸片状多晶金刚石厚膜,填补了国内空白,并获得了非常可观的经济效益。
产业化生产及科研