钙钛矿大面积蒸发设备ZDF3200

设备名称：钙钛矿大面积蒸发设备
设备型号：ZDF3200（单片/多片）
镀膜方式：线源蒸发
真空腔室结构：卧式方箱结构
真空腔室尺寸：L810mm×W700mm×H670mm（镀膜室）
极限真空：优于5.0x10-⁵Pa
基片台尺寸：330mm×420mm
基片温度：80℃以下
膜厚不均匀性：≤±5.0%（330mmx420mm范围内）
蒸发源：高低温线性蒸发源
膜厚监控系统：国产或进口多探头（可选）
控制方式：PLC + 触摸屏控制
占地面积：L3200mm×W2000mm×H1800mm
总功率：≥40KW